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| Untersuchte Arbeit: Seite: 39, Zeilen: 5-9 |
Quelle: Attin 1996 Seite(n): 80, 81, Zeilen: 80: 9 - 14; 81: Tabelle |
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| Das Profilometer ist mit einer Diamantnadel von 2,5 μm bestückt, die mit einem Auflagegewicht von 0,2 mN über die Probenoberfläche fuhr. Die Abtastgeschwindigkeit betrug 2 mm pro Minute. Dabei wurden 1000 Meßpunkte aufgenommen. Weitere Kenndaten des Gerätes sind in Tab. 4-3 zusammengefaßt.
Tab. 4-3: Kenndaten des Profilometers Dektak n. |
Das Profilomter war mit einer Diamanttastnadel mit einem Spitzenradius von 2,5 μm bestückt, die mit einem Auflagegewicht von 0,2 mN über die Probenoberfläche fuhr. Die Auflagekraft war so eingestellt, daß eine fotoempfindliche Lackschicht nicht verkratzt wurde. Die Abtastgeschwindigkeit betrug 2 mm pro Minute. Dabei wurden 1.000 Meßpunkte aufgenommen. Weitere Kenndaten des Profilometers sind in Tabelle 4-4 dargestellt.
[Seite 81]
Tab. 4-4: Kenndaten des Profilometers Dektak II. |
Es handelt sich hier zwar nur um eine Methodenbeschreibung, aber die Texte sind identisch und eine Quelle ist nicht angegeben. |
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